废气处理设施恒压切换策略与应用

　　

针对半导体存储芯片制造车间沸石转轮 + RTO 双备用废气系统切换时管网负压波动、产线设备压差联锁停机、产品良率受损问题，本文提出一套全流程智能恒压切换工艺方案。结合 100000 m³/h 半导体废气站工程实测数据，从管网压力稳定性、设备运维周期、产线报警频次、晶圆良品损失四项维度量化工艺效果，可满足高端精密制造废气不间断切换的严苛工艺要求。

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