多晶硅还原炉系统余热回收利用

　　

高纯的SiHCl₃与H₂在还原炉内1100℃左右高温下发生化学气相沉积反应,在硅芯上沉积而生成多晶硅，还原炉是多晶硅生产中电耗最高的设备，本文通过利用高温热水对还原炉的夹套、底盘及尾气进行冷却，加热后的热水进行闪蒸，年产6000吨的多晶硅规模，通过热量回收能产生0.3MPa（g）的低压蒸汽44.77t/h。达到节能降耗的目的，从而降低多晶硅生产的成本，以提高行业的竞争能力。

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